近日，HORIBA公司宣布推出新的模块化椭偏仪――Uvisel Plus，旨在提高薄膜测量的灵活性。

该设备配备了尖端的FastAcq采集技术，利用新的电子数据处理和高速单色仪，可以在三分钟内完成190到2100nm范围内的样品高分辨率测量。

该设计的另一个关键因素是其在光路中不包含旋转元件或附加组件，为精确的椭偏参数测量提供最纯净和高效的偏振调制。

Uvisel Plus为图案样本的微孔提供低至50μm，可变角度从40°到90°的自动水平绘图阶段和附件，以满足各种应用和预算需求。

该公司表示：“Uvisel Plus及FastAcq技术是材料研究和加工、平板显示器、微电子和光伏领域薄膜厚度和光学常数测量中最多功能的光谱椭偏仪。”