随着硅基MEMS加工技术的日益成熟，MEMS高g值加速度计凭借其体积小、成本低、性能高和适于量产等优势，目前已广泛应用于汽车碰撞试验、航天导航、军用惯性导航等领域。为真实再现碰撞、起飞等过程中的加速度信号细节，尽可能地减小信号失真，高g值加速度计不仅要具备高抗冲击性及足够的灵敏度，还要具备较高的谐振频率及工作带宽

要闻     2017-12-15 16:55:00         风电网