要闻 2018-01-26 10:58:00 风电网
据麦姆斯咨询报道,日立最新开发的MEMS加速度计的灵敏度比目前汽车和智能手机中采用的商用MEMS加速度计的灵敏度要更高,并且功耗降低50%(图1)。这款MEMS加速度计的噪声密度为30 ng/√Hz,据说与应用于航天航空、地震和资源勘探等高端领域的“大型”加速度传感器具有相同的噪声水平(图2)
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