2018年1月31日，由江苏无锡华润上华科技有限公司与北京大学、东南大学、江苏物联网研究发展中心、中科院上海微系统所等8家单位联合承担的国家02科技重大专项 “集成电路与传感器集成制造与生产技术” 项目(简称“MEMS专项”)在无锡华润微电子通过项目正式验收。  　　MEMS专项的主要研究任务和目标是重点开展集成电路与传感器集成制造(包括芯片与MEMS制造和系统封装)技术研发，解决并掌握与CMOS工艺线兼容的MEMS规模制造的系列关键

要闻     2018-02-09 08:42:08         中国仪表网