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  【中国仪表网 仪表研发】2018年度科技部“重大科学仪器设备开发”重点专项已经启动,上海市计量测试技术研究院机械制造所作为重要课题承担单位积极参与申报两项重大科学仪器开发专项,分别是“微纳结构动态特性测试仪的开发和应用”和“高精度三维螺纹综合测量仪的开发和应用”。    “微纳结构动态特性测试仪的开发和应用”项目主要针对微纳结构与微机电系统(MEMS)器件动态特性测试的需求,突破高信噪比

要闻     2018-05-24 09:21:59         上海市计量测试技术研究院

  【中国仪表网 仪表研发】2018年度科技部“重大科学仪器设备开发”重点专项已经启动,上海市计量测试技术研究院机械制造所作为重要课题承担单位积极参与申报两项重大科学仪器开发专项,分别是“微纳结构动态特性测试仪的开发和应用”和“高精度三维螺纹综合测量仪的开发和应用”。    “微纳结构动态特性测试仪的开发和应用”项目主要针对微纳结构与微机电系统(MEMS)器件动态特性测试的需求,突破高信噪比

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