要闻 2018-10-11 15:14:50 前瞻产业研究院
【中国仪表网 仪表市场】微机电系统(Micro-ElectroMechanicalSystem)是指尺寸在几毫米乃至更小的传感器装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。目前，MEMS在消费电子、汽车电子、工业控制、军工、智能家居、智慧城市等领域将得到更为广泛的应用
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